Go raibh maith agat as cuairt a thabhairt ar Nature.com.Tá tú ag baint úsáide as leagan brabhsálaí a bhfuil tacaíocht CSS teoranta aige.Chun an taithí is fearr a fháil, molaimid duit brabhsálaí nuashonraithe a úsáid (nó Mód Comhoiriúnachta a dhíchumasú in Internet Explorer).Ina theannta sin, chun tacaíocht leanúnach a chinntiú, taispeánann muid an suíomh gan stíleanna agus JavaScript.
Taispeánann sé timpeallán de thrí shleamhnán ag an am céanna.Bain úsáid as na cnaipí Roimhe agus Ar Aghaidh chun bogadh trí thrí shleamhnán ag an am, nó bain úsáid as na cnaipí sleamhnáin ag an deireadh chun bogadh trí thrí shleamhnán ag an am.
Ceadaíonn trasnaíocht dhíreach léasair (DLIP) in éineacht le struchtúr dromchla tréimhsiúil spreagtha léasair (LIPSS) cruthú dromchlaí feidhmiúla d'ábhair éagsúla.Méadaítear tréchur an phróisis de ghnáth trí úsáid a bhaint as meánchumhacht léasair níos airde.Mar sin féin, bíonn carnadh teasa mar thoradh air seo, rud a chuireann isteach ar roughness agus cruth an patrún dromchla mar thoradh air.Dá bhrí sin, is gá staidéar a dhéanamh go mion ar thionchar teocht an tsubstráit ar mhoirfeolaíocht na n-eilimintí déanta.Sa staidéar seo, rinneadh an dromchla cruach a phatrún líne le ps-DLIP ag 532 nm.Chun imscrúdú a dhéanamh ar éifeacht teocht an tsubstráit ar an topagrafaíocht mar thoradh air, baineadh úsáid as pláta téimh chun an teocht a rialú.Mar thoradh ar théamh go 250 \(^{\circ }\)С tháinig laghdú suntasach ar dhoimhneacht na struchtúr foirmithe ó 2.33 go 1.06 µm.Bhí baint ag an laghdú le cuma cineálacha éagsúla LIPSS ag brath ar threoshuíomh grán an tsubstráit agus ocsaídiú dromchla spreagtha léasair.Léiríonn an staidéar seo éifeacht láidir teocht an tsubstráit, a bhfuiltear ag súil leis freisin nuair a dhéantar cóireáil dromchla ag meánchumhacht léasair ard chun éifeachtaí carnadh teasa a chruthú.
Tá modhanna cóireála dromchla atá bunaithe ar ionradaíocht léasair ultrashort pulse ar thús cadhnaíochta na heolaíochta agus na tionsclaíochta mar gheall ar a gcumas feabhas a chur ar airíonna dromchla na n-ábhar ábhartha is tábhachtaí1.Go háirithe, tá feidhmiúlacht dromchla saincheaptha léasair-spreagtha den scoth thar raon leathan earnálacha tionsclaíochta agus cásanna feidhmithe1,2,3.Mar shampla, Vercillo et al.Tá airíonna frith-oighrithe léirithe ar chóimhiotail tíotáiniam d'fheidhmchláir aeraspáis bunaithe ar shárhidrofóbacht a tharchuirtear le léasair.Thuairiscigh Epperlein et al gur féidir le gnéithe nanasized a tháirgtear trí struchtúrú dromchla léasair tionchar a imirt ar fhás bithscannán nó ar chosc ar eiseamail chruach5.Ina theannta sin, tá Guai et al.feabhas freisin ar airíonna optúla cealla gréine orgánacha.6 Mar sin, ceadaíonn struchtúrú léasair eilimintí struchtúracha ardtaifigh a tháirgeadh trí ablation rialaithe an ábhair dromchla1.
Teicníc oiriúnach um struchtúrú léasair chun struchtúir dromchla tréimhsiúla den sórt sin a tháirgeadh ná múnlú trasnaíochta léasair díreach (DLIP).Tá DLIP bunaithe ar thrasnaíocht gar-dhromchla dhá léas léasair nó níos mó chun dromchlaí patrúnacha a fhoirmiú le tréithe sa raon micriméadar agus nanaiméadar.Ag brath ar líon agus polarú na bíomaí léasair, is féidir le DLIP raon leathan de struchtúir dromchla topagrafacha a dhearadh agus a chruthú.Is é an cur chuige a bhfuil gealladh fúthu ná struchtúir DLIP a chomhcheangal le struchtúir dromchla tréimhsiúla a tharchuirtear le léasair (LIPSS) chun topagrafaíocht dromchla a chruthú le hordlathas struchtúrach casta8,9,10,11,12.Ó nádúr, tá sé léirithe go soláthraíonn na hordlathais seo feidhmíocht níos fearr fós ná samhlacha aonscála13.
Tá feidhm LIPSS faoi réir próisis féin-aimplithe (aiseolas dearfach) bunaithe ar mhodhnú gar-dhromchla méadaithe ar dháileadh déine na radaíochta.Tá sé seo mar gheall ar mhéadú ar nanoroughness de réir mar a mhéadaíonn líon na bíoga léasair feidhmithe 14, 15, 16. Tarlaíonn modhnú go príomha mar gheall ar chur isteach ar an tonn a astaítear leis an réimse leictreamaighnéadach15,17,18,19,20,21 de athraonadh agus comhpháirteanna tonnta scaipthe nó plasmóin dromchla.Cuireann uainiú na bíoga22,23 isteach freisin ar fhoirmiú LIPSS.Go háirithe, tá meánchumhachtaí léasair níos airde fíor-riachtanach le haghaidh cóireálacha dromchla táirgiúlachta ard.Éilíonn sé seo de ghnáth rátaí arda athrá a úsáid, ie sa raon MHz.Dá bhrí sin, tá an t-achar ama idir bíoga léasair níos giorra, rud a fhágann go bhfuil éifeachtaí carnadh teasa 23, 24, 25, 26. Mar thoradh ar an éifeacht seo go dtiocfaidh méadú iomlán ar theocht an dromchla, rud a d'fhéadfadh tionchar suntasach a bheith aige ar an meicníocht patrúnúcháin le linn ablation léasair.
I saothar roimhe seo, rinne Rudenko et al.agus Tzibidis et al.Déantar plé ar mheicníocht chun struchtúir chomhiompair a fhoirmiú, rud ba cheart a bheith ag éirí níos tábhachtaí de réir mar a mhéadaíonn carnadh teasa19,27.Ina theannta sin, tá Bauer et al.Déan an méid ríthábhachtach de charnadh teasa a chomhghaolú le struchtúir dromchla miocrón.In ainneoin an phróisis fhoirmithe struchtúir seo atá spreagtha go teirmeach, creidtear go ginearálta gur féidir táirgiúlacht an phróisis a fheabhsú go simplí tríd an ráta athrá a mhéadú28.Cé nach féidir é seo, ar a seal, a bhaint amach gan méadú suntasach ar stóráil teasa.Mar sin, d’fhéadfadh sé nach mbeadh straitéisí próisis a sholáthraíonn topology illeibhéil iniompartha do rátaí athrá níos airde gan cinéitic an phróisis agus foirmiú struchtúir a athrú9,12.Maidir leis seo, tá sé an-tábhachtach imscrúdú a dhéanamh ar an gcaoi a mbíonn tionchar ag teocht an tsubstráit ar phróiseas foirmithe DLIP, go háirithe nuair a bhíonn patrúin dromchla cisealta á ndéanamh mar gheall ar fhoirmiú comhuaineach LIPSS.
Ba é aidhm an staidéir seo meastóireacht a dhéanamh ar éifeacht teocht an tsubstráit ar an topagrafaíocht dromchla mar thoradh air le linn próiseála DLIP ar chruach dhosmálta ag baint úsáide as ps bíoga.Le linn próiseála léasair, tugadh teocht an tsubstráit sampla suas go 250 \(^\circ\)C ag baint úsáide as pláta téimh.Baineadh úsáid as micreascópacht chomhfhócasach, scanadh micreascópachta leictreoin, agus speictreascópacht X-ghathaithe atá scaipthe ar fhuinneamh mar shaintréith ag na struchtúir dromchla a d'eascair as.
Sa chéad sraith turgnaimh, próiseáladh an tsubstráit chruach ag baint úsáide as cumraíocht DLIP dhá-bhíoma le tréimhse spáis de 4.5 µm agus teocht substráit de \(T_{\mathrm {s}}\) 21 \(^{\circ }\)C, dá ngairtear “dromchla neamhthéite » anseo feasta.Sa chás seo, is é an forluí bíge \(o_{\mathrm {p}}\) an fad idir dhá chuisle mar fheidhm de mhéid spot.Athraíonn sé ó 99.0% (100 bíog in aghaidh an tsuímh) go 99.67% (300 bíog in aghaidh an tsuímh).I ngach cás, baineadh úsáid as buaic-dlús fuinnimh \(\Phi_\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (do choibhéis Gaussach gan cur isteach) agus minicíocht athrá f = 200 kHz.Tá treo polarú an bhíoma léasair comhthreomhar le gluaiseacht an tábla suite (Fíor 1a)), atá comhthreomhar le treo na céimseata líneach a chruthaíonn an patrún trasnaíochta dhá-bhíoma.Taispeántar íomhánna ionadaíocha de na struchtúir faighte ag baint úsáide as micreascóp leictreon scanadh (SEM) i bhFíor.1a–c.Chun tacú le hanailís ar íomhánna SEM i dtéarmaí topagrafaíochta, rinneadh Fourier transforms (FFTanna, léirithe i insets dorcha) ar na struchtúir atá á measúnú.I ngach cás, bhí céimseata DLIP mar thoradh air le feiceáil le tréimhse spáis 4.5 µm.
Cuir i gcás \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0% sa limistéar níos dorcha de Fíor.1a, a fhreagraíonn do shuíomh an uasmhéid trasnaíochta, is féidir le duine grooves ina bhfuil struchtúir chomhthreomhara níos lú a urramú.Malartaíonn siad le bannaí níos gile clúdaithe i dtopagrafaíocht cosúil le nanacháithníní.Toisc gur dealraitheach go bhfuil an struchtúr comhthreomhar idir na grooves ingearach le polarú an bhíoma léasair agus go bhfuil tréimhse \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) 418\(\pm 65\) nm, beagán is féidir LIPSS a thabhairt ar níos lú ná tonnfhad an léasair \(\ lambda\) (532 nm) le minicíocht spásúil íseal (LSFL-I)15,18.Táirgeann LSFL-I comhartha de chineál s mar a thugtar air san FFT, “s” scaipthe15,20.Mar sin, tá an comhartha ingearach leis an eilimint láidir ingearach lárnach, a ghintear ina dhiaidh sin ag an struchtúr DLIP ( \( \ Lambda _{ \ mathrm {DLIP}} \) \(\approx\) 4.5 µm).Tugtar “cineál DLIP” ar an gcomhartha a ghineann struchtúr líneach an patrún DLIP san íomhá FFT.
íomhánna SEM de struchtúir dromchla cruthaithe ag baint úsáide as DLIP.Is é an buaicdhlús fuinnimh ná \(\Phi_\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (do choibhéis Gaussach gan torainn) agus ráta athrá f = 200 kHz.Taispeánann na híomhánna teocht samplach, polarú agus forleagan.Tá gluaiseacht na céime logánaithe marcáilte le saighead dubh in (a).Taispeánann an inset dubh an FFT comhfhreagrach a fuarthas ón íomhá 37.25\(\times\)37.25 µm SEM (léirithe go dtí go n-éireoidh an tonnveicteoir \(\vec{k}\cdot(2\pi)^ {-1}\) = 200 nm).Léirítear paraiméadair an phróisis i ngach figiúr.
Ag breathnú níos faide isteach i bhFíor 1, is féidir leat a fheiceáil, de réir mar a mhéadaíonn an forluí \(o_{\mathrm {p}}\), go bhfuil an comhartha sigmoid níos comhchruinnithe i dtreo x-ais an FFT.Is gnách go mbíonn an chuid eile de LSFL-I níos comhthreomhar.Ina theannta sin, tháinig laghdú ar dhéine choibhneasta an chomhartha s-cineál agus tháinig méadú ar dhéine na comhartha cineál DLIP.Tá sé seo mar gheall ar trinsí atá ag éirí níos suntasaí le forluí níos mó.Chomh maith leis sin, caithfidh an comhartha x-ais idir cineál s agus an lárionad teacht ó struchtúr leis an treoshuíomh céanna le LSFL-I ach le tréimhse níos faide ( \( \ Lambda _ \ mathrm {b} \ ) \( \ approx \ ) 1.4 ± 0.2 µm) mar a thaispeántar i bhFíor 1c).Mar sin, glactar leis gur patrún claiseanna iad a bhfoirmiú i lár an trinse.Tá an ghné nua le feiceáil freisin sa raon ardmhinicíochta (tonnuimhir mhór) den ord.Tagann an comhartha ó sceithíní comhthreomhara ar fhánaí an trinse, is dócha mar gheall ar chur isteach teagmhais agus solas réamh-léirithe ar na fánaí9,14.San méid seo a leanas, sainítear na ripples seo ag LSFL \ (_ \ mathrm {imeall} \), agus a gcuid comharthaí - de réir cineáil -s \ (_ { \ mathrm {p)) \).
Sa chéad turgnamh eile, tugadh teocht an tsampla suas go 250 °C faoin dromchla "téite" mar a thugtar air.Rinneadh an struchtúrú de réir na straitéise próiseála céanna leis na turgnaimh a luadh sa roinn roimhe seo (Fíor 1a–1c).Léiríonn na híomhánna SEM an topagrafaíocht mar a léirítear i bhFíor 1d–f.Mar thoradh ar théamh an tsampla go 250 C tá méadú ar chuma LSFL, agus tá an treo comhthreomhar leis an bpolarú léasair.Is féidir na struchtúir seo a shaintréithe mar LSFL-II agus tá tréimhse spáis \(\ Lambda _\mathrm {LSFL-II}\) de 247 ± 35 nm acu.Níl an comhartha LSFL-II ar taispeáint sa FFT mar gheall ar an minicíocht ard mód.De réir mar a mhéadaigh \(o_{\mathrm {p}}\) ó 99.0 go 99.67\(\%\) (Fíor 1d–e), mhéadaigh leithead réigiún an bhanda gheal, rud a d'eascair cuma chomhartha DLIP ar feadh níos mó ná minicíochtaí arda.tonuimhreacha (minicíochtaí níos ísle) agus mar sin gluais i dtreo lár an FFT.Féadfaidh na sraitheanna claiseanna i bhFíor 1d a bheith mar réamhtheachtaithe na n-eochair mar a thugtar orthu atá déanta ingearach le LSFL-I22,27.Ina theannta sin, is cosúil go bhfuil LSFL-II tar éis éirí níos giorra agus go neamhrialta.Tabhair faoi deara freisin go bhfuil meánmhéid na mbannaí geal le moirfeolaíocht nanagrain níos lú sa chás seo.Ina theannta sin, d'éirigh le dáileadh méid na nanacháithníní seo a bheith níos lú scaipthe (nó ba lú ceirtleán na gcáithníní iad) ná mar a bhí gan téamh.Go cáilíochtúil, is féidir é seo a mheas trí fhigiúirí 1a, d nó b, e, faoi seach a chur i gcomparáid.
De réir mar a mhéadaigh an forluí \(o_{\mathrm {p}}\) tuilleadh go 99.67% (Fíor 1f), tháinig topagrafaíocht ar leith chun cinn de réir a chéile de bharr claiseanna a bhí ag éirí níos soiléire.Mar sin féin, tá an chuma ar na héisc seo nach bhfuil chomh ordúil agus nach bhfuil siad chomh domhain ná mar atá i bhFíor 1c.Léiríonn codarsnacht íseal idir limistéir éadroma agus dorcha na híomhá i gcáilíocht.Tacaíonn comhartha níos laige agus níos scaipthe an ordáin FFT i bhFíor 1f leis na torthaí seo i gcomparáid leis an FFT ar c.Bhí stríoca níos lú le feiceáil ar théamh freisin nuair a bhí Fíoracha 1b agus e i gcomparáid, rud a deimhníodh níos déanaí le micreascópacht chomhfhócasach.
Chomh maith leis an turgnamh roimhe seo, rinneadh polaraíocht an bhíoma léasair a rothlú le 90 \(^{\circ}\), rud a chuir ar an treo polaraithe bogadh ingearach leis an ardán suite.Ar fig.Léiríonn 2a-c na céimeanna tosaigh de fhoirmiú struchtúir, \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0% i neamhthéite (a), téite (b) agus téite 90 \(^{ \ circ } \ ) - Cás le polarú rothlach (c).Chun nanaitopagrafaíocht na struchtúr a léirshamhlú, taispeántar na limistéir atá marcáilte le cearnóga daite i bhFíoracha.2d, ar scála méadaithe.
íomhánna SEM de struchtúir dromchla cruthaithe ag baint úsáide as DLIP.Is ionann paraiméadair an phróisis agus atá i bhFíor.Taispeánann an íomhá teocht an tsampla \(T_s\), polarú agus forluí bíge \(o_\mathrm {p}\).Taispeánann an inset dubh arís an claochlú Fourier comhfhreagrach.Is mórmhéaduithe iad na híomhánna in (d)-(i) ar na hachair mharcáilte in (a)-(c).
Sa chás seo, is féidir a fheiceáil go bhfuil na struchtúir sna limistéir dorcha in Fíor 2b,c íogair ó thaobh polaraithe de agus mar sin tá siad lipéadaithe LSFL-II14, 20, 29, 30. Go háirithe, tá treoshuíomh LSFL-I rothlaithe freisin ( Fíor 2g, i), atá le feiceáil ó threoshuíomh an chomhartha s-cineál san FFT comhfhreagrach.Is cosúil go bhfuil bandaleithead na tréimhse LSFL-I níos mó i gcomparáid le tréimhse b, agus aistrítear a raon i dtreo tréimhsí níos lú i bhFíor 2c, mar atá léirithe ag an comhartha cineál s níos forleithne.Mar sin, is féidir an tréimhse spásúil LSFL seo a leanas a bhreathnú ar an sampla ag teochtaí téimh éagsúla: \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 418\(\pm 65\) nm ag 21 ^{ \circ }\ )C (Fíor 2a), \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 445\(~\pm\) 67 nm agus \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-II }} \) = 247 ± 35 nm ag 250°C (Fíor 2b) le haghaidh s polarú.A mhalairt ar fad, tá an tréimhse spáis p-polarúcháin agus 250 \(^{\circ }\)C cothrom le \(\ Lambda _{\mathrm {LSFL-I))\) = 390\(\pm 55\) ) nm agus \(\ Lambda_{\mathrm{LSFL-II}}\) = 265±35 nm (Fíor 2c).
Go háirithe, léiríonn na torthaí go díreach trí theocht an tsampla a mhéadú, gur féidir le moirfeolaíocht an dromchla aistriú idir dhá dhálaí foircneacha, lena n-áirítear (i) dromchla nach bhfuil ann ach eilimintí LSFL-I agus (ii) limistéar atá clúdaithe le LSFL-II.Toisc go bhfuil baint ag foirmiú an chineál áirithe seo de LIPSS ar dhromchlaí miotail le sraitheanna ocsaíd dromchla, rinneadh anailís X-ghathaithe scaipthe fuinnimh (EDX).Déanann Tábla 1 achoimre ar na torthaí a fuarthas.Déantar gach cinneadh trí mheán ar a laghad ceithre speictream in áiteanna éagsúla ar dhromchla an tsampla próiseáilte.Déantar na tomhais ag teochtaí samplacha éagsúla \(T_\mathrm{s}\) agus ag suíomhanna difriúla den dromchla samplach ina bhfuil limistéir neamhstruchtúrtha nó struchtúrtha.Tá faisnéis sna tomhais freisin faoi na sraitheanna neamhocsaídithe níos doimhne atá díreach faoi bhun an limistéir leáite cóireáilte, ach laistigh de dhoimhneacht treá leictreoin san anailís EDX.Mar sin féin, ba chóir a thabhairt faoi deara go bhfuil an EDX teoranta ina chumas an t-ábhar ocsaigine a chainníochtú, mar sin ní féidir leis na luachanna seo ach measúnú cáilíochtúil a thabhairt.
Níor léirigh na codanna neamhchóireáilte de na samplaí méideanna suntasacha ocsaigine ag gach teocht oibriúcháin.Tar éis cóireála léasair, tháinig méadú ar leibhéil ocsaigine i ngach cás31.Bhí an difríocht i gcomhdhéanamh eiliminteach idir an dá shampla neamhchóireáilte mar a bhíothas ag súil leis do na samplaí cruach tráchtála, agus fuarthas luachanna carbóin i bhfad níos airde i gcomparáid le bileog sonraí an mhonaróra le haghaidh cruach AISI 304 mar gheall ar éilliú hidreacarbóin32.
Sula bpléitear cúiseanna féideartha leis an laghdú ar dhoimhneacht ablation groove agus an t-aistriú ó LSFL-I go LSFL-II, úsáidtear dlús speictreach cumhachta (PSD) agus próifílí airde.
(i) Taispeántar dlús speictreach cumhachta normalaithe leath-dháthoiseach (Q2D-PSD) an dromchla mar íomhánna SEM i bhFíoracha 1 agus 2. 1 agus 2. Ós rud é go bhfuil an PSD normalaithe, ba cheart go mbeadh laghdú ar an comhartha suime. a thuiscint mar mhéadú ar an gcuid tairiseach (k \(\le\) 0.7 µm\(^{-1}\), nach bhfuil léirithe), ie réidh.(ii) Meánphróifíl airde dromchla comhfhreagrach.Taispeántar teocht an tsampla \(T_s\), forluí \(o_{\mathrm {p}}\), agus polarú léasair E i gcoibhneas le treoshuíomh \(\vec {v}\) ghluaiseacht an ardáin suite i ngach ceapach.
Chun tuiscint na n-íomhánna SEM a chainníochtú, gineadh meán-speictream cumhachta normalaithe ó thrí íomhá SEM ar a laghad do gach paraiméadar atá leagtha síos trí mheán gach dlús speictreach cumhachta aontoiseach (1D) (PSDanna) sa treo x nó y.Taispeántar an graf comhfhreagrach in Fíor 3i a thaispeánann aistriú minicíochta an chomhartha agus a ranníocaíocht choibhneasta leis an speictream.
Ar fig.3ia, c, e, fásann buaic DLIP in aice le \(k_{\mathrm {DLIP}}~=~2\pi\) (4.5 µm)\(^{-1}\) = 1.4 µm \ ( ^{ - 1}\) nó na armónacha níos airde comhfhreagracha de réir mar a mhéadaíonn an forluí \(o_{\mathrm {p))\).Bhain méadú ar an aimplitiúid bhunúsach le forbairt níos láidre ar struchtúr LRIB.Méadaíonn aimplitiúid na n-armónacha níos airde le géire na fána.I gcás feidhmeanna dronuilleogacha mar chásanna teorannaithe, is gá an líon is mó minicíochtaí a bheith ag an gcomhfhogasú.Mar sin, is féidir an buaic thart ar 1.4 µm \(^{-1}\) sa PSD agus na harmonics comhfhreagracha a úsáid mar pharaiméadair cháilíochta le haghaidh cruth an groove.
Os a choinne sin, mar a thaispeántar i bhFíor 3(i)b,d,f, taispeánann PSD an tsampla téite beanna níos laige agus níos leithne agus níos lú comhartha sna armónacha faoi seach.Ina theannta sin, i bhfíor.Léiríonn 3(i)f go sáraíonn an dara comhartha armónach an comhartha bunúsach fiú.Léiríonn sé seo an struchtúr DLIP atá níos neamhrialta agus nach bhfuil chomh suntasach céanna den sampla téite (i gcomparáid le \(T_s\) = 21\(^\circ\)C).Gné eile is ea, de réir mar a mhéadaíonn an forluí \(o_{\mathrm {p}}\), aistríonn an comhartha LSFL-I mar thoradh air i dtreo tonnuimhir níos lú (tréimhse níos faide).Is féidir é seo a mhíniú trí ghéar mhéadaithe imill an mhodha DLIP agus an méadú áitiúil gaolmhar ar uillinn an mhinicíochta14,33.Ag leanúint leis an treocht seo, d'fhéadfaí leathnú an chomhartha LSFL-I a mhíniú freisin.Chomh maith leis na fánaí géara, tá limistéir chomhréidh ar bhun agus os cionn uachtair an struchtúir DLIP freisin, rud a ligeann do raon níos leithne de thréimhsí LSFL-I.Maidir le hábhair an-ionsúiteacha, is gnách gurb é an tréimhse LSFL-I ná:
áit arb é \(\theta\) uillinn an mhinicíochta, agus tagraíonn na foscríbhinní s agus p do pholaruithe éagsúla33.
Ba chóir a thabhairt faoi deara go bhfuil an plána minicíochta le haghaidh socrú DLIP ingearach de ghnáth le gluaiseacht an ardáin suite, mar a thaispeántar i bhFíor 4 (féach an rannán Ábhair agus Modhanna).Dá bhrí sin, tá s-polarization, mar riail, comhthreomhar le gluaiseacht an stáitse, agus tá p-polarization ingearach leis.De réir na cothromóide.(1), le haghaidh s-polarúcháin, táthar ag súil le scaipeadh agus aistriú an chomhartha LSFL-I i dtreo tonnuimhreacha níos lú.Tá sé seo mar gheall ar an méadú ar \(\theta\) agus ar an raon uilleach \(\theta \pm \delta \theta\) de réir mar a mhéadaíonn doimhneacht na trinse.Is féidir é seo a fheiceáil trí chomparáid a dhéanamh idir na beanna LSFL-I in Fíor 3ia,c,e.
De réir na dtorthaí a thaispeántar i bhfíor.Tá 1c, LSFL \(_\mathrm {edge}\) le feiceáil freisin sa PSD comhfhreagrach i bhfíor.3ie.Ar fig.Taispeánann 3ig,h an PSD le haghaidh p-polarúchán.Tá an difríocht i mbuaiceanna DLIP níos suntasaí idir samplaí téite agus neamhthéite.Sa chás seo, forluíonn an comhartha ó LSFL-I le harmonics níos airde an bhuaic DLIP, ag cur leis an comhartha in aice leis an tonnfhad lasing.
Chun na torthaí a phlé níos mine, léiríonn Fíor 3ii an doimhneacht struchtúrach agus an forluí idir bíoga an dáileadh airde líneach DLIP ag teochtaí éagsúla.Fuarthas próifíl airde ingearach an dromchla trí mheán deich bpróifíl airde ingearach aonair timpeall lár an struchtúir DLIP.I gcás gach teocht a chuirtear i bhfeidhm, méadaítear doimhneacht an struchtúir le forluí bíge méadaithe.Taispeánann próifíl an tsampla téite grooves le meánluachanna buaic-go-buaic (pvp) de 0.87 µm le haghaidh s-polarúchán agus 1.06 µm le haghaidh p-polarúchán.I gcodarsnacht leis sin, léiríonn s-polarú agus p-polarú an tsampla neamhthéite pvp de 1.75 µm agus 2.33 µm, faoi seach.Léirítear an pvp comhfhreagrach sa phróifíl airde i bhfíor.3ii.Ríomhtar gach meán PvP trí mheán ocht PvP singil.
Ina theannta sin, i bhfíor.Léiríonn 3iig,h an dáileadh airde p-polarúcháin ingearach leis an gcóras suite agus gluaiseacht groove.Tá tionchar dearfach ag treo an p-polarúcháin ar dhoimhneacht an groove ós rud é go n-eascraíonn sé pvp beagán níos airde ag 2.33 µm i gcomparáid leis an s-polarization ag 1.75 µm pvp.Freagraíonn sé seo ar a seal le grooves agus gluaiseacht an chórais ardán suite.D'fhéadfadh struchtúr níos lú a bheith mar thoradh ar an éifeacht seo i gcás s-polarúcháin i gcomparáid le p-polarúchán (féach Fíor 2f,h), a phléifear tuilleadh sa chéad chuid eile.
Is é cuspóir an phlé ná an laghdú ar an doimhneacht groove a mhíniú mar gheall ar an athrú ar an bpríomh-aicme LIPS (LSFL-I go LSFL-II) i gcás samplaí téite.Mar sin freagair na ceisteanna seo a leanas:
Chun an chéad cheist a fhreagairt, is gá machnamh a dhéanamh ar na meicníochtaí atá freagrach as laghdú ar ablation.Maidir le cuisle amháin ag gnáthmhinicíocht, is féidir cur síos a dhéanamh ar dhoimhneacht an ablation mar:
áit a bhfuil \\(\delta _{\mathrm {E}}\) an doimhneacht treá fuinnimh, is iad \(\Phi\) agus \(\Phi_{\mathrm {th}}\) an líofacht ionsúcháin agus an líofacht Ablation tairseach, faoi seach34 .
Go matamaiticiúil, tá éifeacht iolraitheach ag doimhneacht treá fuinnimh ar dhoimhneacht an ablation, agus tá éifeacht logartamach ag an athrú ar fhuinneamh.Mar sin ní chuireann athruithe líofachta isteach ar \(\Delta z\) chomh fada le \(\Phi ~\gg ~\Phi _{\mathrm {th}}\).Mar sin féin, tá bannaí Cr-O35 níos láidre mar thoradh ar ocsaídiú láidir (mar shampla, mar gheall ar fhoirmiú ocsaíd cróimiam) i gcomparáid le bannaí Cr-Cr, rud a mhéadaíonn an tairseach ablation.Mar thoradh air sin, níl \(\Phi ~\gg ~\Phi _{\mathrm {th}}\) sásta a thuilleadh, rud a fhágann go laghdaítear an doimhneacht eisiblithe go tapa agus an dlús flosc fuinnimh ag laghdú.Ina theannta sin, tá comhghaol idir an stát ocsaídiúcháin agus an tréimhse LSFL-II ar eolas, ar féidir a mhíniú trí athruithe ar an nanostructure féin agus airíonna optúla an dromchla de bharr ocsaídiúcháin dromchla30,35.Dá bhrí sin, tá dáileadh dromchla cruinn an líofacht ionsúcháin \(\Phi\) mar gheall ar dhinimic chasta an idirghníomhaíochta idir an tréimhse struchtúrach agus tiús na ciseal ocsaíd.Ag brath ar an tréimhse, bíonn tionchar láidir ag an nanostruchtúir ar dháileadh an fhlosca fuinnimh absorbtha mar gheall ar mhéadú géar ar an réimse, excitation plasmons dromchla, aistriú éadrom neamhghnách nó scaipthe17,19,20,21.Mar sin, tá \(\Phi\) go láidir neamhaonchineálach in aice leis an dromchla, agus is dócha nach féidir \(\delta _{E}\) a thuilleadh le comhéifeacht ionsúcháin amháin \(\alpha = \delta _{\mathrm {opt} } ^ { -1} \approx \delta _{\mathrm {E}}^{-1}\) don toirt iomlán gar don dromchla.Ós rud é go mbraitheann tiús an scannáin ocsaíd den chuid is mó ar an am soladaithe [26], braitheann an éifeacht ainmníochta ar an teocht sampla.Léiríonn na micreagraif optúla a thaispeántar i bhFíor S1 san Ábhar Forlíontach athruithe ar na hairíonna optúla.
Míníonn na héifeachtaí seo go páirteach doimhneacht trinse níos éadomhain i gcás struchtúir dromchla beaga i bhFíoracha 1d,e agus 2b,c agus 3(ii)b,d,f.
Is eol go gcruthaíonn LSFL-II ar leathsheoltóirí, ar thréleictreach, agus ar ábhair atá seans maith go ocsaídiú14,29,30,36,37.Sa chás deiridh sin, tá tiús an chiseal ocsaíd dromchla thar a bheith tábhachtach30.Léirigh an anailís EDX a rinneadh foirmiú ocsaídí dromchla ar an dromchla struchtúrtha.Mar sin, le haghaidh samplaí neamhthéite, is cosúil go gcuireann ocsaigine comhthimpeallach le foirmiú páirteach cáithníní gásacha agus go páirteach le foirmiú ocsaídí dromchla.Cuireann an dá fheiniméan go mór leis an bpróiseas seo.Os a choinne sin, i gcás samplaí téite, ocsaídí miotail de stáit ocsaídiúcháin éagsúla (SiO\(_{\mathrm {2}}\), Cr\(_{\mathrm {n}} \)O\(_{\mathrm { m}}\ ), Fe\(_{\mathrm {n}}\)O\(_{\mathrm {m}}\), NiO, etc.) 38 soiléir ina bhfabhar.Chomh maith leis an gciseal ocsaíd riachtanach, tá gá le garbhthonnta fothonnta, minicíocht ard spásúil LIPSS (HSFL) den chuid is mó, chun na modhanna déine fothonnta (d-cineál)14,30 a fhoirmiú.Is feidhm den aimplitiúid HSFL agus tiús ocsaíd é an modh déine deiridh LSFL-II.Is é an chúis atá leis an modh seo ná cur isteach i bhfad-réimse an tsolais scaipthe ag an HSFL agus solas a athraonadh isteach san ábhar agus ag iomadú taobh istigh den ábhar tréleictreach dromchla20,29,30.Tá íomhánna SEM d'imeall an phhatrún dromchla i bhFíor S2 sa rannán Ábhair Fhorlíontacha mar léiriú ar HSFL atá ann cheana féin.Tá tionchar lag ag imeall an dáileadh déine ar an réigiún seachtrach seo, rud a fhágann gur féidir HSFL a fhoirmiú.Mar gheall ar siméadracht an dáileadh déine, tarlaíonn an éifeacht seo ar feadh an treo scanadh freisin.
Bíonn tionchar ag téamh samplach ar phróiseas foirmithe LSFL-II ar bhealaí éagsúla.Ar thaobh amháin, tá éifeacht i bhfad níos mó ag méadú ar theocht an tsampla \(T_\mathrm{s}\) ar an ráta soladaithe agus fuaraithe ná ar thiús an chiseal leáite26.Mar sin, tá comhéadan leachtach sampla téite faoi lé ocsaigine comhthimpeallach ar feadh tréimhse níos faide ama.Ina theannta sin, ceadaíonn soladú moillithe próisis chomhiompair chasta a fhorbairt a mhéadaíonn meascadh ocsaigine agus ocsaídí le cruach leachtach26.Is féidir é seo a léiriú trí thiús na ciseal ocsaíd a fhoirmítear trí idirleathadh amháin a chur i gcomparáid (\(\Lambda _\mathrm {diff}=\sqrt{D~\times ~t_\mathrm {s}}~\le ~15\) nm) Is é \(t_\mathrm {s}~\le ~200\) ns an t-am téachta comhfhreagrach, agus an chomhéifeacht idirleata \(D~\le\) 10\(^{-5}\) cm\(^ 2 \ )/ s) Breathnaíodh nó éilítear tiús suntasach níos airde i bhfoirmiú LSFL-II30.Ar an láimh eile, bíonn tionchar ag téamh freisin ar fhoirmiú HSFL agus mar sin ar na rudaí scaipthe a theastaíonn chun aistriú isteach sa mhodh déine de chineál d LSFL-II.Tugann nochtadh na nanóóid atá gafa faoin dromchla le fios go bhfuil baint acu le foirmiú HSFL39.Féadfaidh na lochtanna seo bunús leictreamaighnéadach HSFL a léiriú mar gheall ar na patrúin déine tréimhsiúla ardmhinicíochta a theastaíonn14,17,19,29.Ina theannta sin, tá na modhanna déine ginte seo níos comhionainne le líon mór nanóóid19.Mar sin, is féidir an chúis atá leis an méadú ar mhinicíocht HSFL a mhíniú trí athrú ar dhinimic na lochtanna criostail de réir mar a mhéadaíonn \(T_\mathrm{s}\).
Taispeánadh le déanaí go bhfuil an ráta fuaraithe sileacain ina phríomh-pharaiméadar d’fhorsháithiú intreach idirstitial agus mar sin do charnadh lochtanna pointe le foirmiú dislocations40,41.Tá sé léirithe ag insamhaltaí dinimic mhóilíneacha de mhiotail íon go sáraíonn folúntais le linn athchriostalú tapa, agus mar sin go n-éiríonn le carnadh na bhfolúntas i miotail ar bhealach comhchosúil42,43,44.Ina theannta sin, dhírigh staidéir thurgnamhacha le déanaí ar airgead ar mheicníocht fhoirmiú na bhfolús agus na mbraislí de bharr carnadh lochtanna pointe45.Mar sin, is féidir le méadú ar theocht an tsampla \(T_\mathrm {s}\) agus, dá bhrí sin, laghdú ar an ráta fuaraithe tionchar a imirt ar fhoirmiú na bhfolús, arb iad núicléis HSFL iad.
Más rud é gurb iad folúntais na réamhtheachtaithe riachtanacha do chuasanna agus dá bhrí sin HSFL, ba cheart go mbeadh dhá éifeacht ag teocht an tsampla \(T_s\).Ar thaobh amháin, bíonn tionchar ag \(T_s\) ar an ráta athchriostalaithe agus, dá réir sin, ar thiúchan na lochtanna pointe (tiúchan folúntais) sa chriostail fhásta.Ar an láimh eile, bíonn tionchar aige freisin ar an ráta fuaraithe tar éis soladú, rud a chuireann isteach ar idirleathadh na lochtanna pointe sa chriostail 40,41.Ina theannta sin, braitheann an ráta soladaithe ar an treoshuíomh criostalagrafach agus mar sin tá sé an-anisotrópach, mar atá idirleathadh na lochtanna pointe42,43.De réir na mbonn seo, mar gheall ar fhreagra anisotrópach an ábhair, déantar idirghníomhú an tsolais agus an ábhair a bheith anisotrópach, rud a mhéadaíonn an scaoileadh tréimhsiúil cinntitheach fuinnimh seo.Maidir le hábhair polycrystalline, is féidir an iompar seo a theorannú de réir mhéid gráin amháin.Go deimhin, tá foirmiú LIPSS léirithe ag brath ar threoshuíomh gránach46,47.Mar sin, ní fhéadfaidh éifeacht teocht an tsampla \(T_s\) ar an ráta criostalaithe a bheith chomh láidir le héifeacht treoshuímh gráin.Mar sin, soláthraíonn treoshuíomh criostalagrafach difriúil grán éagsúil míniú féideartha ar an méadú ar fholús agus ar chomhiomlánú HSFL nó LSFL-II, faoi seach.
Chun tásca tosaigh na hipitéise seo a shoiléiriú, eitseáladh na samplaí amh chun foirmiú gránach gar don dromchla a nochtadh.Comparáid idir gráinní i bhfíor.Taispeántar S3 san ábhar forlíontach.Ina theannta sin, bhí LSFL-I agus LSFL-II le feiceáil i ngrúpaí ar shamplaí téite.Freagraíonn méid agus geoiméadracht na gcnuasach seo don mhéid gráin.
Ina theannta sin, ní tharlaíonn HSFL ach i raon cúng ag dlús sreabha íseal mar gheall ar a bhunús comhiomparach19,29,48.Dá bhrí sin, i dturgnaimh, is dócha go dtarlaíonn sé seo ach ar imeall phróifíl an bhíoma.Mar sin, foirmíodh HSFL ar dhromchlaí neamh-ocsaíde nó lag-ocsaídithe, rud a tháinig chun solais nuair a bhí comparáid á dhéanamh idir na codáin ocsaíde de shamplaí cóireáilte agus neamhchóireáilte (féach tábla reftab: mar shampla).Deimhníonn sé seo an toimhde go bhfuil an ciseal ocsaíd ionduchtaithe go príomha ag an léasair.
Ós rud é go mbíonn foirmiú LIPSS ag brath go hiondúil ar líon na gcuacha mar gheall ar aiseolas idirbhulsaí, is féidir struchtúir níos mó a chur in ionad HSFLanna de réir mar a mhéadaíonn forluí bíge19.Is é an toradh a bhíonn ar HSFL nach bhfuil chomh rialta ná patrún déine níos lú rialta (d-mód) a theastaíonn chun LSFL-II a fhoirmiú.Mar sin, de réir mar a mhéadaíonn forluí \(o_\mathrm {p}\) (féach Fíor 1 ó de), laghdaítear rialtacht LSFL-II.
Rinne an staidéar seo imscrúdú ar éifeacht teocht an tsubstráit ar mhoirfeolaíocht dromchla cruach dhosmálta cóireáilte DLIP struchtúrtha léasair.Fuarthas amach go laghdaítear an doimhneacht ablation ó 1.75 go 0.87 µm sa s-polarúchán ó théamh an tsubstráit ó 21 go 250 ° C agus ó 2.33 go 1.06 µm sa p-polarúchán.Tá an laghdú seo mar gheall ar an athrú ar chineál LIPSS ó LSFL-I go LSFL-II, a bhaineann le ciseal ocsaíd dromchla spreagtha léasair ag teocht sampla níos airde.Ina theannta sin, féadfaidh LSFL-II flosc tairseach a mhéadú mar gheall ar ocsaídiú méadaithe.Glactar leis, sa chóras teicneolaíochta seo le forluí cuisle ard, meándlús fuinnimh agus meánráta athrá, go gcinntear tarlú LSFL-II freisin ag an athrú ar dhinimic díláithrithe de bharr téimh samplach.Tá hipitéisiú go bhfuil comhiomlánú LSFL-II mar gheall ar fhoirmiú nanoóideach atá ag brath ar threoshuíomh gránach, rud a fhágann go bhfuil HSFL mar réamhtheachtaí do LSFL-II.Ina theannta sin, déantar staidéar ar thionchar an treo polaraithe ar an tréimhse struchtúrach agus ar bandaleithead na tréimhse struchtúracha.Tharlaíonn sé go raibh p-polarization níos éifeachtaí don phróiseas DLIP i dtéarmaí doimhneacht ablation.Tríd is tríd, nochtar sa staidéar seo sraith de pharaiméadair phróisis chun doimhneacht an ablation DLIP a rialú agus a bharrfheabhsú chun patrúin saincheaptha dromchla a chruthú.Ar deireadh, tá an t-aistriú ó LSFL-I go LSFL-II bunaithe go hiomlán ar theas agus táthar ag súil le méadú beag ar an ráta athrá agus forluí cuisle leanúnach mar gheall ar mhéadú teasa24.Baineann na gnéithe seo go léir leis an dúshlán atá le teacht maidir le leathnú an phróisis DLIP, mar shampla trí úsáid a bhaint as córais scanadh polagánach49.Chun tógáil teasa a íoslaghdú, is féidir an straitéis seo a leanas a leanúint: luas scanadh an scanóir polagánach a choinneáil chomh hard agus is féidir, leas a bhaint as an láthair léasair níos mó, orthogonal go dtí an treo scanadh, agus úsáid a bhaint as an ablation is fearr.líofacht 28. Ina theannta sin, ceadaíonn na smaointe seo topagrafaíocht chasta ordlathach a chruthú le haghaidh feidhmiúchán dromchla ard ag baint úsáide as DLIP.
Sa staidéar seo, baineadh úsáid as plátaí cruach dhosmálta electropolished (X5CrNi18-10, 1.4301, AISI 304) 0.8 mm tiubh.Chun aon ábhar salaithe a bhaint den dromchla, nitear na samplaí go cúramach le eatánól roimh chóireáil léasair (tiúchan iomlán eatánóil \(\ge\) 99.9%).
Taispeántar an socrú DLIP i bhFíor 4. Tógadh samplaí ag baint úsáide as córas DLIP atá feistithe le foinse léasair ultrashort 12 ps pulsed le tonnfhad 532 nm agus uasráta athrá de 50 MHz.Is Gaussach dáileadh spásúil an fhuinnimh bhíoma.Soláthraíonn optaic atá saindeartha cumraíocht idirmhéadrach dé-bhíoma chun struchtúir líneacha a chruthú ar an sampla.Forshuiteann lionsa le fad fócasach 100 mm dhá léas léasair breise ar an dromchla ag uillinn fosaithe 6.8 \ (^ \ circ\), rud a thugann tréimhse spáis de thart ar 4.5 µm.Is féidir tuilleadh faisnéise ar an socrú turgnamhach a fháil in áit eile50.
Roimh phróiseáil léasair, cuirtear an sampla ar phláta téimh ag teocht áirithe.Socraíodh teocht an phláta téimh ag 21 agus 250 °C.I ngach turgnamh, baineadh úsáid as scaird thrasnach d'aer comhbhrúite i gcomhcheangal le feiste sceite chun sil-leagan deannaigh ar na snáthoptaice a chosc.Bunaítear córas stáitse x,y chun an sampla a shuíomh le linn an struchtúir a struchtúrú.
Athraíodh luas an chórais céime suite ó 66 go 200 mm/s chun forluí a fháil idir bíoga 99.0 go 99.67 \(\%\) faoi seach.I ngach cás, socraíodh an ráta athrá ag 200 kHz, agus ba é 4 W an meánchumhacht, rud a thug fuinneamh in aghaidh an chuisle de 20 μJ.Tá trastomhas an léasa a úsáidtear sa turgnamh DLIP thart ar 100 µm, agus is é 0.5 J/cm\(^{2}\) an buaicdhlús fuinnimh léasair dá bharr.Is é an fuinneamh iomlán a scaoiltear in aghaidh an aonaid achair ná an buaiclíofacht carnach a fhreagraíonn do 50 J/cm\(^2\) do \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0 \(\%\), 100 J/cm \(^2\) le haghaidh \(o_{\mathrm {p))\)=99.5\(\%\) agus 150 J/cm\(^2\) le haghaidh \(o_{ \mathrm {p} }\ ) = 99.67 \( \%\ ).Úsáid an pláta \(\lambda\)/2 chun polarú an léas léasair a athrú.I gcás gach sraith paraiméadair a úsáidtear, déantar achar de thart ar 35 × 5 mm \(^{2}\) a uigeacht ar an sampla.Rinneadh gach turgnamh struchtúrtha faoi choinníollacha comhthimpeallacha chun infheidhmeacht thionsclaíoch a chinntiú.
Scrúdaíodh moirfeolaíocht na samplaí ag baint úsáide as micreascóp comhfhócasach le formhéadú 50x agus taifeach optúil agus ingearach de 170 nm agus 3 nm, faoi seach.Rinneadh measúnú ansin ar na sonraí topagrafacha a bailíodh trí úsáid a bhaint as bogearraí anailíse dromchla.Bain próifílí ó shonraí tír-raoin de réir ISO 1661051.
Baineadh úsáid as micreascóp scanadh leictreon ag voltas luasghéaraithe de 6.0 kV freisin sna samplaí.Rinneadh measúnú ar chomhdhéanamh ceimiceach dhromchla na samplaí trí úsáid a bhaint as ceangaltán speictreascópachta X-ghathaithe (EDS) atá scaipthe ar fhuinneamh ag voltas luasghéaraithe 15 kV.Ina theannta sin, baineadh úsáid as micreascóp optúil le cuspóir 50x chun moirfeolaíocht gráinneach mhicreastruchtúr na samplaí a chinneadh. Roimhe sin, eitseáilte na samplaí ag teocht tairiseach de 50 \(^\circ\)C ar feadh cúig nóiméad i stain cruach dhosmálta le aigéad hidreaclórach agus tiúchan aigéad nítreach de 15–20 \(\%\) agus 1\( -<\)5 \(\%\), faoi seach. Roimhe sin, eitseáilte na samplaí ag teocht tairiseach de 50 \(^\circ\)C ar feadh cúig nóiméad i stain cruach dhosmálta le aigéad hidreaclórach agus tiúchan aigéad nítreach de 15–20 \(\%\) agus 1\( -<\)5 \(\%\), faoi seach. Перед этим образцы травили при постоянной температуре 50 \(^\circ\)С в течение пяти минут в краскежизи иѷе иѷе иѷе ическейскей иѷе ичелити ной agus азотной кислотами концентрацией 15-20 \(\%\) agus 1\( -<\)5 \( \%\) соответственно. Roimhe sin, eitseáilte na samplaí ag teocht tairiseach 50 \(^\circ\)C ar feadh cúig nóiméad i bpéint cruach dhosmálta le haigéid hidreaclórach agus nítreach le tiúchan 15-20 \(\%\) agus 1\( -<\)5 \( \%\) faoi seach.在此之前，样品在不锈钢染色液中以50\(^\circ\)C 的恒温蚀刻五分钟\纸渒温蚀刻五分钟\纸渒渒硓纄刻分钟\纸渒温硓圌在渒渒硓亝划渒温硓圌在五渒温硓纡刏) 1\( -<\)5 \ (\%\), 分别.在此之前，样品在不锈钢染色液中以50 \(^\circ\)C (\%\),分别。Roimhe sin, picilte na samplaí ar feadh cúig nóiméad ag teocht tairiseach de 50 \(^\circ\)C i dtuaslagán staining le haghaidh cruach dhosmálta le tiúchan d'aigéad hidreaclórach agus nítreach 15-20 \(\%\) agus 1 \.(-<\)5 \ (\%\) соответственно. (-<\)5 \ (\%\) faoi seach.
Léaráid scéimreach de shocrú turgnamhach socrú DLIP dhá-léas, lena n-áirítear (1) léas léasair, (2) pláta \(\ lambda\)/2, (3) ceann DLIP le cumraíocht optúil áirithe, (4) ) pláta te, (5) céimeanna suite tras-sreabhach, (6) x,y agus (7) eiseamail cruach dhosmálta.Cruthaíonn dhá léas forshuite, a bhfuil ciorcal dearg orthu ar thaobh na láimhe clé, struchtúir líneacha ar an sampla ag uillinneacha \(2\theta\) (lena n-áirítear s- agus p-polarúchán).
Tá na tacair sonraí a úsáideadh agus/nó a ndearnadh anailís orthu sa staidéar reatha ar fáil ó na húdair faoi seach ar iarratas réasúnach.
Am postála: Jan-07-2023